PVD设备
Applications
MEMS
- VOx
- Getter
- YOx
- SiO2
- Ge
- Moly
- Au
- Ag
- Pt
POWER
- SiC Hot Al
- SiC BSM
- Si Hot Al
- Si BSM
- GaN Thick Al
- GaN BSM
- Pt
III-V(RF)
- Resistors: TaN, NiCr, WSi, CrSi, WNiSi
- Backside via Seeds: Au
- Frontside Seeds: Au, Cu
- Ti, TiW
- TC-SAW: SiO2
IC
- Al
- Ti/TiN
- TiW/W
- Ta/TaN
- Ni/NiV
- Mo
- Cu
- CrSi
- Cr
- Ni
Glass Wafer
- ITO
- IGZO
- Moly
- Ti
- Cu
- Al
- Ta/TaN
